（中央社記者張建中新竹2024年4月30日電）台積電
積極強化空污防制設備監測效能，創新研發「空污快
篩即時感測儀」，可同時檢測氨等5種氣體，並同步
連接「廠務監控及數據收集系統」，使數據取得時間
由1週大幅縮短為1分鐘，更即時掌握並處理異常污染
源。

晶圓代工廠台積電（2330）在新出爐的ESG（環
境、社會責任、公司治理）電子報中指出，過往以人
工採樣分析方式進行全廠煙道檢測、排放溯源調查及
現址式處理設備效能驗證作業。

為更有效掌握煙道污染狀況及改善成效，台積電於
民國112年1月開發空污快篩即時感測儀，應用交變電
流共振固體與氣體感測技術，製作酸鹼排氣即時感測
器，自主設計特殊電極結構，當氣體與電極接觸時，
可藉由交流電感測特定共振訊號與強度變化，達到快
速辨識污染源類別及濃度的效果。

台積電表示，不同於人工採樣僅能呈現單一時間點
的非即時數據，空污快篩即時感測儀可同步對接廠務
監控及數據收集系統，以即時、原位、連續式監測與
圖表形式呈現數據趨勢，可以更快發現異常污染源並
進行溯源追蹤。

此外，還能依煙道排放氣體的物種及濃度，評估投
入中央式處理設備的藥劑最適量，精準調整酸鹼值、
導電度並控制清洗水量，不僅優化處理程序、妥善運
用藥劑資源，亦降低現場作業人員採樣暴露酸鹼氣體
的風險。

台積電指出，空污快篩即時感測儀可同時檢測氨、
氫氟酸、鹽酸、硫酸、硝酸5種氣體，截至113年4月
已導入晶圓2廠、晶圓5廠、晶圓15A廠、晶圓18A
廠、晶圓18B廠，預計115年導入所有台灣與海外廠
區。

台積電同時評估監測氯氣、含氟化物、氮氧化物等
氣體的可行性與效益，以及將感測儀應用於空品車周
界監測分析，以落實空污減量。

台積電還積極強化綠色化學品管理，將不使用環境
危害性化學品N-甲基(口比)咯烷酮（NMP）、全氟烷
基物質（PFAS）列為永續目標之一，並進一步擴展至
供應鏈原物料生產階段。

台積電表示，在不使用NMP與PFAS的基礎下，成功
扶植供應商創新研發符合製程需求的高硬度、高強
度、抗化性的全新世代低溫聚醯亞胺，截至113年4月
已導入5奈米、3奈米製程，預計下半年2奈米製程進
入試量產，達到環保與品質雙重效益。

台積電並積極打造多元共融工作環境，為強化身心
障礙人才聘任與發展，舉辦為期6個月的「無障礙職
場體驗營」，導入職能治療師參與招募流程及職務再
設計，加速身障人才融入職場生活、提升實務能力。

台積電同時推出小班制「無障礙友善職場工作
坊」，深化員工對身心障礙工作者的理解與尊重、增
進互動關係。