家登:新世代EUV光罩盒獲ASML認證 搶先進製程商機

(中央社記者張建中新竹2024年11月8日電)傳載方
案商家登精密(3680)今天宣布,新世代的高數值孔
徑極紫外光光罩盒(High-NA EUV POD)已通過微影
技術龍頭廠艾司摩爾(ASML)認證,將會與現有
EUV POD版本搭配使用,同步為客戶先進製程採用。

家登今天發布新聞稿表示,隨著半導體製程技術不
斷推進,旗下EUV POD和RSP-200系列透明視窗的光
罩傳送盒出貨量不斷增加;尤其關鍵客戶先進製程訂
單暢旺,EUV POD和RSP-200產品需求可望持續增
長。

家登指出,台灣、亞洲和美國的關鍵客戶競逐2奈
米製程,已投入High-NA EUV布局,有機會在明年逐
步採用High-NA EUV機台投產。

家登表示,旗下High-NA EUV POD已通過ASML認
證,將會與現有EUV POD版本搭配使用,同步為客戶
先進製程所採用。家登光罩載具全系列產品均可匹配
ASML不同機種的曝光機,伴隨製程技術不斷推進,
可望帶動EUV相關產品銷售成長。

因應地緣政治風險,家登指出,在美國設有倉儲、
專責業務、研發和技術服務團隊,並規劃於2025年在
日本久留米建廠,大中華地區現有昆山廠及重慶廠兩
座生產基地已穩定投產,應可符合全球關鍵客戶在地
供應的需求。

家登自結10月營收新台幣3.89億元,呈月減、年減
態勢,家登表示,主要是因集團進行SAP系統升級作
業,全球客戶出貨暫停10天影響,11月將積極出貨,
全年營運表現不受影響。
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