台積電取得IMS 10%股權 驅動微影技術創新

(中央社記者吳家豪台北2023年09月13日電)美商晶
片大廠英特爾同意出售旗下奧地利晶片製造設備商
IMS Nanofabrication Global, LLC 10%股權給台積電,
英特爾表示,這項投資為IMS增強獨立性,將帶動關
鍵微影技術發展,使整個半導體製造生態系受惠。

晶圓代工廠台積電12日臨時董事會通過決議,核准
以不超過4.328億美元(約新台幣138億元)額度內,
取得IMS 10%股權;另決議核准以不超過1億美元額度
內,認購安謀(Arm)普通股股份。

英特爾在官網發布新聞稿說明,台積電投資案預計
今年第4季完成,英特爾將保有IMS大部分股權,IMS
將持續以獨立子公司運作。

英特爾自2009年開始投資IMS,並於2015年收購剩
餘股權。今年6月英特爾出售約20%的IMS股權給私募
股權公司貝恩資本(Bain Capital)。

英特爾指出,IMS研發的多光束光罩寫入工具
(multi-beam mask writing tool),對於發展先進極紫
外光(EUV)微影技術相當重要。台積電與貝恩資本
對IMS的投資,為IMS增加獨立性,也讓IMS在面對未
來龐大機會時更有信心。

英特爾表示,這項投資案將幫助IMS加速成長,驅
動下一階段微影技術創新,引領產業轉型發展全新的
圖案化系統,例如高數值孔徑極紫外光(High-NA
EUV)。

英特爾企業發展資深副總裁波爾瑞爾(Matt
Poirier)說,這項投資代表IMS正在深入拓展產業合
作,帶動關鍵微影技術發展,將使整個半導體製造生
態系受惠。隨著獨立性增強,IMS將處於有利地位,
能在未來10年和更長時間,把握多光束光罩寫入工具
的重要成長機會。
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