（中央社記者張建中新竹2025年2月2日電）晶圓代工
廠致力邁向「零廢棄」目標，開創循環經濟模式。台
積電（2330）台中零廢製造中心去年11月商轉，估計
每年可減少新台幣15億元環境成本；聯電（2303）南
科循環經濟資源創生中心將於今年啟用，每年可以創
造1億元再生產品綠色經濟。

台積電台中零廢製造中心由台積電攜手協力廠商成
信實業、長春石化和立盈環保科技打造而成，秉持
「減廢最大量、環境效益最大化、管理風險最小化」
原則。

零廢中心內設有氧化矽污泥、異丙醇、氟化鈣污泥
及有機溶劑熱回收廠4區，確保廢棄資源不外流，並
發展電子級化學品再應用於半導體，開創循環經濟新
模式。

氧化矽污泥區是將半導體研磨製程產生的研磨廢
水，經混凝處理沉降後產生氧化矽污泥，再針對每種
污泥材料特質，以還原工程技術，分別製成矽碇或人
造螢石等。

異丙醇區則是將清洗晶圓後的廢異丙醇，藉由熱回
收的蒸氣，蒸餾去除水分與不純物，精餾成電子級異
丙醇回供半導體業使用。

氟化鈣污泥區是將半導體蝕刻與清洗製程產生的氫
氟酸廢水，經氟酸化混程序後產生氟化鈣污泥，再經
旋窯乾燥後加入凝結劑攪拌，導入成型機造粒與乾燥
後生成人造螢石。

有機溶劑熱回收廠是將去除晶圓表面光阻與有機物
後的廢有機溶劑，經由燃燒爐熱裂解後，產生高溫煙
道氣經過鍋爐熱回收，產出蒸氣於零廢中心內使用。

台積電台中零廢製造中心每年將為台積電減少約13
萬公噸的廢棄物委外處理量，約占中科廠區廢棄物的
85%以上，估計每年能減少約15億元的環境成本。

聯電斥資18億元在南科晶圓12A廠區打造的循環經
濟資源創生中心將於今年啟用，估計每年可以減少1.5
萬公噸的廢棄物，減廢比例約1/3，並可創造約1億元
的再生產品綠色經濟。

循環經濟資源創生中心主要處理包括氟化鈣污泥、
清洗晶片光阻劑產生的異丙醇（IPA）與晶邊清洗液
（EBR）廢液、混合廢溶劑等。

聯電指出，氟化鈣污泥因產出量大，且處理技術成
熟，2019年啟動創生中心規劃時，即將氟化鈣污泥列
為標的物之一，並與合作廠商立盈評估將其處理設備
建置在聯電廠內可行性。

聯電估計，創生中心運轉後，立盈每年可以協助在
廠內將5000公噸的氟化鈣污泥資源化成人工螢石再
生，並轉售至鋼鐵廠作為煉鋼助熔劑，減少鋼鐵廠使
用天然螢石數量，降低對環境的衝擊，同時有助減少
聯電廢棄物委外處理量與成本，避免委外不當處理的
風險。

為加速循環經濟發展動能，台積電將會在各地設置
更多的零廢製造中心，聯電也會將創生中心的循環經
濟模式拓展至台灣所有廠區。

世界先進（5347）並未設置零廢製造中心或創生中
心，不過內部基於資源循環再生與環境永續共融理
念，制定永續原物料政策，並報請董事會通過，積極
與內、外部利害關係人共同建置永續原物料循環合作
網絡，提升第3方認證的原物料比率，實踐最佳化的
循環再生原物料使用與效率，並大力推動創新的循環
商業模式。

世界先進盤查發現產出的廢棄物中，占比最高的是
廢酸、廢溶劑及污泥，這些廢棄物多數經過物理處理
及熱處理程序後，作為工業級原料、水泥或路磚等摻
配料，以進行再利用；若是無法回收的容器，則交由
合格廠商清洗後重新使用。部分含有具價值的金屬，
如廢五金、白鐵、鋁等，則交由廠商回收再利用。

晶圓代工廠攜手供應鏈夥伴，積極推動循環經濟發
展，力求提高資源利用效率，共同邁向企業成長與環
境保護共贏的目標。