（中央社記者鍾榮峰台北2022年10月31日電）台積電
（2330）今年啟動竹科再生水廠專案，預計2025年每
日可供應工業再生水1萬公噸，導入2奈米製程廠區，
並配合市政再生水供應。

台積電在今天新出爐的ESG電子報中表示，台積電
致力推動水資源永續管理，積極落實製程節水與廢水
分流，廠區水回收已達一滴水使用3.5次的成效。

為更精進用水效率，台積電投入再生水技術發展，
攜手政府單位，開發符合自來水供水標準的民生廢水
再生流程及工業廢水回收技術，並與中鼎集團合作，
打造全球首座工業再生水回用至半導體製程的再生水
廠。

今年9月，台積電南科再生水廠完工並正式通水，
年底前每日可供應1萬公噸工業再生水，朝多元水資
源循環再生的永續目標邁進。

台積電南科再生水廠是台積電南科廠區再生水製
造、偵測與供應中心，除回收南部科學園區污水廠放
流水以產製工業再生水外，並於永康及安平污水廠市
政再生水進入廠區前把關水質。

台積電指出，目前還投入研發以廢熱進行濃縮廢水
回收與污泥資源化技術，避免濃排廢水外流，進一步
降低環境衝擊，預計2026年南科再生水廠產能將提升
至每日供水3萬6000公噸，持續降低自來水用量需求
並友善環境。

台積電表示，拓展多元水資源為水管理永續發展的
重要策略，台積電將持續擴大再生水應用範圍，今年
已啟動竹科再生水廠專案，預計2025年每日可供應工
業再生水1萬公噸，導入2奈米製程廠區並配合市政再
生水供應。

台積電指出，未來將達成竹科新建廠區100%使用再
生水，目標於2030年台灣廠區再生水替代率達60%以
上，提高組織營運韌性，實踐水循環永續行動。

針對工業普遍使用的化學品NMP，台積電將其作為
製程中去光阻後清洗晶圓的溶劑，為降低人員暴露與
環境污染風險，台積電超越法規要求，於2016年自主
推動「去光阻濕式清洗製程NMP替代計畫」，7奈米
（含）以下先進製程完全排除使用NMP，既有廠區則
陸續進行替代作業，並訂定2030年台灣廠區達成100%
NMP替代的目標。

面對日益嚴峻的極端氣候，台積電積極創造更多節
水省電機會點，2021年針對晶圓傳送盒清洗機台研發
漸進式開關水閥，藉由自動控制熱水輸出多寡，於機
台未運作時減少50%供水量，達到年省38萬公噸純水
與1533萬度電。

為更優化熱水使用效率，台積電智能工程中心、晶
圓12B廠與供應商持續深入分析機台能耗及運轉參
數，進一步設計熱水封閉迴路，透過加裝泵浦與冷熱
水自動控制切換閥門，在確保水溫穩定的前提下，利
用泵浦將機台未運作時的熱水全部導回熱水器繼續使
用，達到100%回收效益。

熱水回收循環系統已列為台積電12吋晶圓廠區未來
新購晶圓傳送盒清洗機台的標準配備，目標至2030年
可年省140萬公噸純水及1億1000萬度電。

因應疫情對全球供應鏈帶來的挑戰，台積電積極導
入數位轉型技術至稽核作業，成功開發「虛擬稽核」
技術，在減少跨境人員流動的同時，仍能進行產品正
式量產前的稽核程序，順利支援客戶的生產計畫。

台積電指出，截至今年10月，已完成39場線上虛擬
稽核並全數通過客戶認證，創造雙贏的夥伴關係。