台積電設備博覽會 展示逾70件工程師創新作品

(中央社記者張建中台中2022年11月15日電)台積電
(2330)今天在中科晶圓15A廠舉辦中科場次的台積
設備博覽會,並首度開放媒體採訪,現場展示超過70
件台積電設備工程師的創新作品。

台積電設備博覽會今年進入第11屆,11月分別在竹
科、中科及南科廠區舉辦,竹科場次已於11月8日至
10日舉行,中科場次為11月15日至17日,南科場次預
計於11月23日至24日舉行。

台積電廠務副總經理莊子壽表示,培養專家要給他
們舞台與創新的機會,舉辦設備博覽會就是為所有設
備人員提供一個展現自我創新能力的分享平台,透過
實際的成果展出,促進相互觀摩學習,期能舉一反三
激盪出更多的創新改善並予以實現。

設備博覽會期間也邀請國內相關科系大學學生及教
授參觀,以進一步了解台積電設備工程師的自主創新
技術及工作內涵與價值。

台積電設備博覽會分為系統整合、設備改造、好用
工具及環保節能減碳4大主題,並規劃新知館,邀請
設備商於現場展示創新產品,讓工程師同時能看到業
界最新技術應用。

台積電工程師透過機器手臂、氣密籠車及晶片車,
減少75%的手動搬運,節省人力,並確保晶片品質,
同時可省下包裝袋,達到綠色環保的效益,估計一年
可產生新台幣1.6億元的效益。

隨著廠區擴充,台積電每年增加超過4000台高空式
無人搬運車(OHT),預期今年底可望超過2.2萬台。
台積電工程師開發自動健檢站,讓OHT檢查頻率從年
保變成週檢,可在不增加人力的情況下,讓系統更穩
定。

台積電還開發出蝕刻設備電漿全自動清潔及人工智
慧影像辨識機器人,未來將取代送洗,有助節省成
本,估計每年效益可達4億元。

台積電指出,自第1屆設備博覽會開始,歷年累計
參賽作品超過1600件,參觀人數逾2.7萬人。(編輯:
張良知)
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