（中央社記者張建中新竹2023年4月28日電）台積電
（2330）成功輔導供應商開發品質符合標準的微影製
程材料，建立本土供應鏈生產線，年產值超過新台幣
15億元，材料運輸效率提升75%。

台積電在新出爐的ESG電子報中表示，微影製程在
半導體製造過程至關重要，是確保晶片品質與穩定性
的核心技術之一，因其材料研發及生產技術門檻高，
過往主要仰賴進口供料。

為提升本土供應鏈研發實力與生產效率，民國108
年台積電資材供應鏈管理處攜手奈米製像技術發展處
展開「供應商原物料技術輔導計畫」，針對微影製程
材料的技術開發、品保分析、數據校正、樣品驗證、
廠務配置、桶槽改善、擴產規劃共7大環節提供專業
指導。

台積電指出，結果不僅有效縮短供應商50%產線建
置與產品驗證時間，材料品質優於製程標準，強化供
應商競爭力，並為本土微影製程材料供應鏈發展奠定
堅實基礎，創造年產值逾15億元，材料運輸效率提升
75%。

此外，台積電攜手供應商開創晶圓清洗機台熱水循
環系統，有效省水80%。為創造更多節能機會，台積
電於111年針對既有廠區晶圓清洗機台進一步打造
「熱水循環系統2.0版」，利用模組化設計克服無塵室
場域限制，系統設備占地面積減少60%、改造作業效
率提升90.5%，優化改機與安裝便利性。

台積電112年4月導入晶圓12B廠，節省純水2萬4000
公噸、省電38萬8000度，預估119年既有12吋晶圓廠
區全面導入後可年省純水1160萬公噸、省電4億5000
萬度。

台積電還攜手供應商優化包材回收及再利用能力，
針對先進製程特用化學品的桶裝包材開發客製化清洗
技術，使桶裝包材可重複利用，112年4月成功導入晶
圓15B廠，晶圓12B廠、晶圓18A廠亦同步進行驗證，
預計114年全面導入12吋晶圓廠區後可年減碳2000公
噸。