工研院AI設備預診斷技術 助日月光提升製程良率

(中央社記者張建中新竹2022年5月25日電)工研院
今天宣布,將研發的AI人工智慧設備預診斷技術,導
入半導體封測廠日月光(3711)中壢廠,以迅速提供
最佳參數,協助提升先進製程精準度與良率。

工研院電子與光電系統研究所所長張世杰表示,工
研院的AI人工智慧設備預診斷技術,有如產線上的智
慧糾察隊,透過演算法進行深度學習,即可在產線直
接判讀瑕疵,更可建立一套完整的資料庫,解決傳統
人為檢查失誤或品質不均問題。

張世杰說,AI人工智慧設備預診斷技術將有助大幅
縮短解決問題時間,可從30天縮短成1至5天,不但可
提升半導體製程良率,並加速產品上市時程。

除半導體先進封裝測試檢測,張世杰表示,AI人工
智慧設備預診斷技術還可應用於頻率元件生產製造
廠、多晶模組微小化構裝製程廠、碳化矽晶圓檢測、
載板檢測等產線。

工研院表示,在日月光中壢廠凸塊製程廠廠長謝富
軒的強力支持下,AI人工智慧設備預診斷技術已導入
日月光中壢廠,讓先進製程更精準有效,並更具彈性
與自主性。
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