【珠海:積極佈局DUV光刻膠、EUV光刻膠等高端領域產品】1

【珠海:積極佈局DUV光刻膠、EUV光刻膠等高端領域產品】1月7日訊,珠海市工業和信息化局公開徵求 《珠海市電子化學品產業發展三年行動方案(2025-2027年)(徵求意見稿)》 意見。其中提到,致力於發展我國電子化學品“卡脖子”技術以及進口替代產品,支持引育一批掌握新工藝、新技術的團隊或中小型科技企業,推動產業鏈條向高附加值領域攀升。其中,包括光刻膠及其配套化學品。重點圍繞現有龍頭企業,積極佈局電子束膠、深紫外線(DUV)光刻膠、極紫外線(EUV)光刻膠等高端領域產品。聚焦目前國產化率較低、市場需求較大的高端KrF、ArF深紫外線(DUV)光刻膠,逐步向上游樹脂單體原材料、光引發劑、高純溶劑、助劑等配套化學品領域延伸,力爭打造全國規模最大、技術最先進的光刻膠產業集羣。
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