國產電子束光刻機的創新突破與市場應用

【全國首臺國產商業電子束光刻機在杭“出爐”】8月14日訊,近日,作爲基地首批簽約孵化項目之一,全國首臺國產商業電子束光刻機“羲之”已進入應用測試,其精度比肩國際主流設備,標誌著量子芯片研發從此有了“中國刻刀”。在測試現場,浙大餘杭量子研究院相關團隊緊張忙碌著,一臺模樣酷似大型鋼櫃的機器正在做應用測試,電子顯示屏上不斷閃爍著實時參數。“這不是普通的機器,而是一支能在頭髮絲上雕刻出整座城市地圖的‘納米神筆’!”團隊負責人表示,依託省重點實驗室,這臺研究院自主研發的新一代100kV電子束光刻機“羲之”已正式投入市場。(杭州日報)
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