【炬光科技:目前公司產品已經用於KrF、ArF、ArF浸沒式

【炬光科技:目前公司產品已經用於KrF、ArF、ArF浸沒式等DUV光刻機】炬光科技在互動平臺表示,公司的光場勻化器產品供應給世界頂級光學企業A公司,最終應用於全球高端光刻機生產商的核心設備。公司根據客戶的不同型號需求,匹配不同波長的光場勻化器,目前產品已經用於KrF, ArF, ArF浸沒式等DUV光刻機。公司光場勻化器產品目前沒有用於EUV光刻機,由於EUV光刻機和DUV光刻機光學工作原理不同。
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