【華海清科:12英寸單片終端清洗機出貨】9月26日訊,華海清

【華海清科:12英寸單片終端清洗機出貨】9月26日訊,華海清科公告,公司首臺12英寸單片終端清洗機HSC-F3400機臺出機發往國內大硅片龍頭企業。HSC-F3400機型是公司面向大硅片終端清洗市場特殊需求研發的一款高性能設備,該機型配備了新型清洗模塊、乾燥模塊及顆粒與金屬污染控制系統,可穩定實現大硅片正面及背面的高效率超潔淨清洗。機臺搭載的高性能卡盤夾持技術,確保晶圓穩定高速運轉,在產能優勢明顯的同時,具備安全性高、工藝調整靈活、可靠性強的特點,能夠以較高使用壽命滿足低成本運維需求。
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