路維光電:公司已實現180nm及以上製程節點半導體掩膜版量產

路維光電:公司已實現180nm及以上製程節點半導體掩膜版量產,同時儲備有150nm製程節點掩膜版製造技術和OPC、PSM等應用於中高端半導體掩膜版的製造技術。
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