【工信部就《半導體設備 集成電路製造用幹法刻蝕設備測試方法》

【工信部就《半導體設備 集成電路製造用幹法刻蝕設備測試方法》等196項行業標準公開徵集意見】11月16日訊,據工信部網站消息,根據標準化工作的總體安排,工信部現將申請立項的《半導體設備 集成電路製造用幹法刻蝕設備測試方法》等196項行業標準、《雪蓮養護貼》等1項行業標準外文版項目和《環境污染防治設備 術語》等38項推薦性國家標準計劃項目予以公示,截止日期爲2023年12月16日。
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