【晶盛機電:目前公司已基本實現8-12英寸大硅片設備全覆蓋並

【晶盛機電:目前公司已基本實現8-12英寸大硅片設備全覆蓋並批量銷售】11月22日訊,晶盛機電近期在接受調研時表示,目前公司已基本實現8-12英寸大硅片設備的全覆蓋並批量銷售,6英寸碳化硅外延設備實現批量銷售且訂單量快速增長,成功研發出具有國際先進水平的8英寸單片式碳化硅外延生長設備,實現了成熟穩定的8英寸碳化硅外延工藝。同時公司基於產業鏈延伸,開發出了應用於8-12英寸晶圓及封裝端的減薄設備、外延設備、LPCVD設備、ALD設備等。
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