【英諾激光:關注國內半導體行業發展趨勢 已在硅晶圓前道檢測環

【英諾激光:關注國內半導體行業發展趨勢 已在硅晶圓前道檢測環節開展合作】11月28日訊,近日,有投資者通過互動易平臺向英諾激光提問,看到上海微電子官微發佈,上海微電子28nm精度光刻機已經通過技術認證,並在光源技術方面與英諾激光展開合作,是否屬實?對此,英諾激光回覆,公司在半導體領域與國外客戶開展了深度合作,並已批量供應了應用於碳化硅退火製程的激光器,積累了豐富的行業經驗。英諾激光時刻關注國內半導體行業發展趨勢,已在硅晶圓前道檢測環節開展合作。
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