【清溢光電:正在推進130nm-65nm PSM和OPC工藝

【清溢光電:正在推進130nm-65nm PSM和OPC工藝的掩膜版開發】1月16日訊,清溢光電發佈的投資者關係活動記錄顯示,公司於1月11日接受恆生前海基金、尚正基金、格林基金管理有限公司等約40家機構的調研。清溢光電錶示,公司已實現180nm工藝節點半導體芯片掩膜版的量產,已實現150nm工藝節點半導體芯片掩膜版的客戶測試認證。目前,公司正在推進130nm-65nm的PSM和OPC工藝的掩膜版開發和28nm半導體芯片所需的掩膜版工藝開發規劃。
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