【佳能:目標最快今年開始交付低成本納米壓印設備】1月28日訊

【佳能:目標最快今年開始交付低成本納米壓印設備】1月28日訊,據英國《金融時報》報道,負責監督新型光刻機開發的佳能高管武石洋明1月27日接受採訪稱,採用納米壓印技術的佳能光刻設備FPA-1200NZ2C目標今年或明年出貨。佳能於去年10月宣佈推出FPA-1200NZ2C,稱其可製造5納米芯片。佳能方面表示,這款新設備的成本“將比ASML的EUV少一位數”,耗電量也會減少90%。
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