【我國科研團隊完成一種新型光刻膠技術初步驗證】4月2日訊,從

【我國科研團隊完成一種新型光刻膠技術初步驗證】4月2日訊,從華中科技大學獲悉,該校與湖北九峯山實驗室組成聯合研究團隊,突破“雙非離子型光酸協同增強響應的化學放大光刻膠”技術。相關成果日前發表在《化學工程雜誌》上。據介紹,這一具有自主知識產權的光刻膠體系已在生產線上完成了初步工藝驗證,並同步完成了各項技術指標的檢測優化,實現了從技術開發到成果轉化全鏈條打通。(科技日報)
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