【電子束槍有望簡化EUV光刻機】8月7日訊,荷蘭國家應用科學

【電子束槍有望簡化EUV光刻機】8月7日訊,荷蘭國家應用科學研究院Stodolna等提出了一種能夠產生氫等離子體的實驗裝置,以便進一步研究改進EUV光刻。之前的等離子體發生器非常複雜,需要大量資源,但該團隊的裝置非常簡單,使用機的是市場上可買到的技術。他們的裝置主要依靠高壓、大電流電子束槍,該電子束槍可以產生短電子脈衝,通過電子撞擊電離產生等離子體。在測試中,它能夠再現EUV生成等離子體的關鍵參數。
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