【中國電科48所8英寸碳化硅外延設備再升級】9月5日訊,近日

【中國電科48所8英寸碳化硅外延設備再升級】9月5日訊,近日,中國電科48所自主研發的8英寸碳化硅外延設備關鍵技術再獲突破。碳化硅外延爐是第三代半導體碳化硅器件製造的核心裝備之一。此次“全新升級”的8英寸碳化硅外延設備,具備更快、更好、更穩定的特點,通過改進激光視覺定位、晶圓自糾偏等技術,設備自動化性能更加成熟,提升產品生產效率。設備還成功引入新的摻雜技術,進一步提升產品良率,持續降低生產成本。
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