【一口氣發佈數十款裝備,新凱來火了】3月27日訊,3月26日

【一口氣發佈數十款裝備,新凱來火了】3月27日訊,3月26日,SEMICON China 2025在上海開幕。在本次展會上,新凱來展區人頭攢動。這是新凱來首次公開亮相,同時發佈多款產品,覆蓋半導體制造全流程。發佈的產品,在工藝裝備方面包括:擴散裝備RTP(三清山)、EPI(峨眉山);刻蝕產品ETCH(武夷山);薄膜產品PVD(普陀山)、CVD(長白山)、ALD(阿里山)。在量檢測裝備方面包括:光學檢測產品嶽麓山BFI、丹霞山DFI、蓬萊山PC、莫干山MBI;光學量測產品天門山IBO、天門山DBO;PX量測產品沂蒙山AFM、赤壁山-XP XPS、赤壁山-XD XRD、赤壁山-XF XRF;功率檢測產品RATE-CP、RATE-KGD、RATE-FT。
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