【哈工大科研團隊實現二維鐵電材料超分辨微納結構圖案化可控制造

【哈工大科研團隊實現二維鐵電材料超分辨微納結構圖案化可控制造】5月29日訊,近日,哈爾濱工業大學機電工程學院楊立軍教授、丁燁副教授團隊和材料科學與工程學院李洋教授團隊提出了一種在空氣中利用遠場飛秒激光刻蝕技術在二維鐵電材料上直寫超分辨納米溝槽陣列結構的新方法。相關研究成果發表在《自然通訊》上。該研究突破了納米結構激光製備的分辨率瓶頸,對創新功能架構構建、電子器件集成及納米光子學發展具有重要意義。
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