ASML在台灣推進2奈米研發 申請補助案最快5月拍板

(中央社記者劉千綾台北2023年04月9日電)半導體
設備大廠艾司摩爾在台砸重金投資,並針對2奈米晶
圓光學量測設備研發製造,向經濟部申請A+企業研發
補助案。經濟部表示,將以兩面向審查,包括如何協
助供應鏈技術升級以及國產自製率,最快5月拍板定
案。

艾司摩爾(ASML)去年宣布在台灣擴大投資,新
北市長侯友宜透露,預計落腳林口,第一期投資金額
達新台幣300億元,約2000名員工進駐。

不僅在台灣擴大投資,艾司摩爾去年也向經濟部遞
件申請,針對2奈米晶圓光學量測設備提出研發補助
計畫,經濟部已受理審查,依規定一旦審查通過,政
府補助比例會低於5成。

經濟部官員表示,審查重點為如何提升本土技術、
國產自製率;目前台廠供應鏈已具備深紫外光
(DUV)設備中的光罩傳輸模組製造能力,這次艾司
摩爾計劃案包含晶圓傳輸模組,期盼藉此導入本土供
應鏈。

經濟部官員指出,事實上,先前艾司摩爾的光罩傳
輸模組搬來台灣製造,讓台灣成為艾司摩爾DUV光罩
傳輸模組全球唯一製造基地,帶動台廠帆宣
(6196)、公準(3178)和神詠等供應鏈廠商成長,
藉由外商在台擴大投資、研發等,持續提升本土供應
鏈技術升級。

艾司摩爾申請案將進入實質審查的第二階段,經濟
部官員表示,預估5月召開決審會議拍板通過,屆時
經濟部補助額將明朗化。

經濟部「A+企業創新研發淬鍊計畫」補助企業投入
創新研發和前瞻產業技術開發,每年預算約新台幣20
億元,計畫吸引國際大廠來台研發生產,同時幫助國
內業者打進前段設備的供應鏈。
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