【消息稱三星電子測試TEL公司Acrevia GCB設備以改

【消息稱三星電子測試TEL公司Acrevia GCB設備以改進EUV光刻工藝】9月3日訊,三星正對Tokyo Electron (TEL) 的Acrevia GCB氣體團簇光束系統進行測試。TEL的Acrevia GCB系統發佈於今年7月,可通過氣體團簇光束對EUV光刻圖案進行局部精確整形,從而修復圖案缺陷、降低圖案粗糙度。(TheElec)
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